Liqui-Cel

ケーススタディー

UltraPure Water: Systems for Microelectronics
従来の真空脱気塔に替わり新設の半導体工場の脱気及び脱酸素技術として使用されるリキセル®分離膜コンタクター(脱気膜)についてです。

技術短信(TB)62: このケーススタディーは、モスクワのスケートリンク・アリーナにおける透明な氷を製造する革新的な試みがご覧になれます。
モスクワ・スケートリンク・アリーナにおける透明な氷を製造する革新的な試み

技術短信(TB)50:台湾半導体工場で脱酸素および脱炭酸同時に行うことで水質改善
発電所でリキセル®分離膜を使用した脱炭酸

技術短信(TB)59:PAULANER(パウラーナー)醸造所の最適な脱気
Centec(センテック)社のDGS装置は、飲料水産業における溶存ガスを取り除く疎水性中空糸膜を使用したモジュラータイプの脱気装置です。この技術短信は装置の構造、操作及びエネルギーコスト削減結果を紹介します。

Membrane Processing for Water Treatment in the Semiconductor Industry
脱気膜による300mmウェーハー半導体処理における酸素仕様の下限を説明します。

Lessons Learned: The Installation of a 300 to 600 gpm Semiconductor High-Purity Water System
VLSI社で使用される技術について説明します。 リキセル分離膜モジュールが真空脱気塔に替わって使用される利点などについて注目しています。

Degasification of Boiler Feed Water with Liqui-Cel® Membrane Contactors
水から酸素と炭酸ガス(二酸化炭素)を除去する際のボイラー給水脱気として、リキセル®分離膜コンタクター(脱気膜)がどのように最適化されるかについて説明します。 又従来の脱気装置と比較した場合、リキセル®膜脱気装置の脱気についての利点も明らかにされています。

Meeting Water Quality Specifications for 300 mm Processing
現在までの歴代300mm処理用UPWの仕様を振り返っています。 更に新たな仕様に見合うために使用されるリキセル® 分離膜コンタクターを含む最新技術について説明します。

技術短信(TB)33:IMECによる脱酸素3 ppbケーススタディー
酸素3 ppbケーススタディー半導体研究施設において、リキセル®によって水から酸素を3ppbまで脱気するのに活用されています。

Membrane Contactors: An Introduction To The Technology
分離膜技術の概要が掲載されています。 分離膜による処理と物質移動の原理が説明されています。

Membrane Processing for Water Treatment in the Semiconductor Industry
ここでは、脱気薄膜による300mm半導体処理における酸素仕様の下限を示します